Hitachi automatische Probenvorbereitungsgeräte

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automatisches Probenvorbereitungsgerät
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... Dieses Gerät dient der Vorbereitung des gewünschten Waferteils für die Analyse mit STEM, TEM usw. durch Extraktion einer Mikroprobe mit einem Ionenstrahl in der Vakuumkammer eines FIB-Systems. Merkmale FIB-Mikroprobenentnahmegerät und ...

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