Große kreisförmig gefräste Aluminiumfläche mit einer Temperaturgleichmäßigkeit besser als 1 % über die Heizfläche. Speziell für die Arbeit mit Siliziumwafern mit einem Durchmesser von 12 Zoll (304,8 mm) oder kleiner und anderen Proben entwickelt, bei denen Temperaturgenauigkeit und Oberflächengleichmäßigkeit ein Muss sind
Beschreibung
Die programmierbare Backplatte WaferPlate™ von Torrey Pines Scientific ist eine vollständig programmierbare digitale Heizplatte, die speziell zum Backen von Siliziumwafern entwickelt wurde. Stellen Sie im manuellen Betrieb einfach eine Zieltemperatur ein und das Gerät fährt auf diese exakte Temperatur zu und hält diese mit einer Genauigkeit von ± 1 °C. Im programmierbaren Modus können Routinen zum sofortigen Aufrufen und Verwenden gespeichert werden. Die gespeicherte Routine wird automatisch und immer wieder genau gleich ausgeführt.
Programme können je nach Bedarf einfach oder komplex sein. Es können mehrere Temperaturen, Temperaturanstiegsraten, falls gewünscht, und Verweilzeiten gespeichert werden. Diese Programme können in der mit dem Gerät gelieferten Fernbedienung geschrieben und gespeichert werden, oder die Programme können so einfach oder komplex wie nötig sein, wenn sie vom Benutzer auf einem PC geschrieben und von diesem PC über den RS-232-E/A-Anschluss ausgeführt werden die Rückseite der Heizung.