Das bildgebende Schichtdickenmessgerät ist ein Messinstrument, mit dem die Schichtdickenverteilung einer transparenten Mehrschichtfolie sichtbar gemacht werden kann.
Mit Hilfe der spektroskopischen Reflektometrie kann die Schichtdickenverteilung mit einer Auflösung von 0,1nm dargestellt werden.
Visualisieren Sie die Gleichmäßigkeit der Schichtdicke
Messen Sie die Schichtdicke/Qualität im Sichtfeld des Mikroskops, zeigen Sie die 3D-Verteilung
Auflösung der Schichtdicke: <0,1nm
Gute Dickenauflösung, gleichwertig mit den Spektrometrie-Werkzeugen.
Die Wellenlänge kann von 450nm bis 750nm mit einer Genauigkeit von 1nm gewählt werden.
Hohe Geschwindigkeit / Multilayer-Messung bis zu 9 Schichten
Parallele Verarbeitung durch die spektroskopische Reflektometrie
Erweiterte Anwendungen
① mehrere hundertfach wiederholte Filme wie Bandpass-Interferenzfilter und mehrschichtige Verbundfilme wie die Trench-Struktur
② Schätzung der Dichte von Mustern im Submikrometerbereich mit Hilfe der Effective Medium Approximation (EMA)
③ Bewertung der Kristallinität eines lokalen Bereichs, z. B. durch Laser-Glühen
Messung der Schichtdickenverteilung in einem bestimmten Bereich des objektiven Sichtfelds.
Messen Sie den 6,6x8,8mm□ Bereich mit dem 1x Objektiv.
Messung der räumlichen Auflösung von 0,5 um mit dem 50x-Objektiv.
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