Dicken-Tester SK-FTM

Laborautomatischkompakt

Das kompakte Schichtdickenmessgerät ist ein reflexionsspektralphotometrisches Schichtdickenmessgerät, das eine kleine Reflexionssonde verwendet und in allen Situationen vom Labor bis zur Inline-100%-Kontrolle im Produktionsprozess eingesetzt werden kann. Es ist sehr wartungsfreundlich und kann für die Integration in die Prozessausrüstung und das Linienmanagement verwendet werden. Die gleichzeitige Messung von bis zu 9 Arten von transparenten Folien ist möglich. Es kann als Inline- oder Endpunkt-Monitor für die verschiedenen mehrschichtigen Folienprozesse eingesetzt werden. Die kompakte Sonde kann auf kleinstem Raum innerhalb des Prozesswerkzeugs installiert werden. Es ist auch möglich, das Mischungsverhältnis der gemischten Schicht oder die Kristallinität von Poly-Silizium mit Hilfe der EMA-Theorie zu beurteilen. Kompakte Sonde mit optischer Faser kann auf kleinstem Raum im Prozesswerkzeug installiert werden. Gute Wiederholbarkeit der Schichtdickenmessung 0,1 nm(3a) Mehrschichtige Schichtdickenmessung mit bis zu 9 Schichten Funktion zur Materialanalyse - Bewertung des Mischungsverhältnisses des Verbundmaterials mittels EMA - Kristallinität und Analyse der optischen Konstanten Drahtlos(Option) Software zur Endpunktbestimmung der Schichtdicke ist enthalten Automatischer Kartierungstisch (Option) Empfohlene Systemanforderungen Raumtemperatur - : 18 bis 45 ℃ Langfristig - : < ±2.0℃/24Stunden Kurzfristig - : < ±1.0℃/1Stunde Luftfeuchtigkeit - : 45±20% (ohne Kondensation)