Das S lynx ist ein neues berührungsloses 3D-Oberflächenprofilometer zum Einsatz in Industrie und Forschung. Es wurde als kompaktes und vielseitiges System konzipiert. Das S lynx ist in der Lage, unterschiedliche Texturen, Strukturen, Rauhigkeiten und Welligkeiten auf verschiedenen Oberflächenskalen zu messen. Aufgrund seiner Vielseitigkeit eignet sich das S lynx für eine breite Palette von High-End-Oberflächenanwendungen. Die proprietäre 3-in-1-Messtechnik von Sensofar garantiert optimale Leistung, ergänzt durch die unglaublich intuitive Handhabung unter Einsatz der SensoScan-Software.
Anwendungsbereiche
Automobilindustrie
Unterhaltungselektronik
Energiewirtschaft
LCD
Werkstoffkunde
Mikroelektronik
Mikrofertigung
Mikropaläontologie
Optik
Werkzeugtechnik
Halbleitertechnik
Uhrenbau
3-in1-Technologien
Konfokal
Konfokal-Profilometer erlauben
die Vermessung unterschiedlichster Oberflächen, von glatt bis sehr rau. Die Konfokal-Technik liefert dabei die höchstmögliche von optischen Profilometern erreichbare laterale Auflösung. Die Reduzierung der räumlichen Abtastung auf 0,01 μm erweist sich als ideal für die Vermessung kritischer Dimensionen. Objektive mit hoher numerischer Apertur (0,95) und starker Vergrößerung (150X) ermöglichen die Vermessung glatter Oberflächen mit steilen Flanken von über 70º (bis 86º bei rauen Oberflächen). Die proprietären Konfokal-Algorithmen liefern eine einzigartige vertikale Wiederholbarkeit im nm-Bereich.
Interferometrie
Die Weißlichtinterferometrie (WLI) ist eine weit verbreitete und leistungsfähige Technik zur Messung von Oberflächeneigenschaften wie z. B. der Topographie oder der Dicke transparenter Schichten.