M20 ist ein Membranventil für HP- und UHP-Anwendungen. Seine federlose Konstruktion sorgt für die höchste Reinheit des Gases. Das M20 ist für niedrige Drücke bis zu 15 bar geeignet. Es sind zwei Betätigungsarten erhältlich: Drehhandrad oder pneumatischer Antrieb.
Die wichtigsten Vorteile
100% Helium-Dichtheitsprüfung durchgeführt
Erhältlich in den Größen 3/4" bis 1", um eine Vielzahl von Anschlüssen zu unterstützen
Zusammenbau, Prüfung und Verpackung im Reinraum: Klasse ISO 4
Individuelle Seriennummer für vollständige Rückverfolgbarkeit
Elektropolierte Oberflächenrauhigkeit gemäß SEMI F19 UHP Grade
316L VAR®-Edelstahl mit doppelter Schmelze nach SEMI F20 als Option erhältlich
Ausgezeichnete Spülbarkeit durch optionale Spülanschlüsse
Flüssigkeitsspezifische Sitzmaterialien als Standardoptionen
Auswechselbarer Sitz
Spezifikationen
Öffnungsdruck des pneumatischen Antriebs 5 bis 7 bar
Durchflussleistung (cv) 3,5
Nomineller Sitzdurchmesser 20 mm
Nomineller Sitzdurchmesser > 700 bar
Berstdruck ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Zertifizierte max. Helium-Außenleckrate ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Zertifizierte max. Heliumleckrate über den Sitz (bei max. Druck) - ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Zertifizierte max. Heliumleckrate nach innen (bei max. Druck) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
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