Der RX2200 ist ein Membrandruckregler für HP- und UHP-Anwendungen. Seine federlose und gewindelose Konstruktion sorgt für höchste Gasreinheit.
Die wichtigsten Vorteile
100% funktionsfähig & Helium-Lecktest durchgeführt
Hastelloy®-Membran
Innen feder- und gewindelos für höchste UHP-Anforderungen
Zusammenbau, Prüfung und Verpackung im Reinraum: Klasse ISO 4
Individuelle Seriennummer für vollständige Rückverfolgbarkeit
Korrosionsbeständige interne Option verfügbar: Hastelloy® Ventilkegel
Elektropolierte Oberflächenrauhigkeit gemäß SEMI F19 UHP Grade
Option für die Beschichtung der medienberührten Bereiche ist verfügbar
option aus 316L VAR®-Edelstahl mit doppelter Schmelze nach SEMI F20 verfügbar
Flüssigkeitsspezifisches Sitzmaterial als Standardoptionen
Zusätzliche Multi-Port-Optionen
Spezifikationen
Max. Eingangsdruck 240 bar
Ausgangsdruck 3/8/10/15/25/50 bar
Temperaturbereich -20°C bis +65°C
Durchflusskapazität (cv) 0,2
Berstdruck* - 300% des Betriebsdrucks
Prüfdruck* - 150% des Betriebsdrucks
Wirkung des Versorgungsdrucks i* 1,35 bar / 100 bar
Zertifizierte max. Helium-Außenleckrate ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
Zertifizierte max. Heliumleckrate über den Sitz (bei max. Druck) - ≤ 1 x 10-7 mbar.l/s
Zertifizierte max. Heliumleckrate nach innen (bei max. Druck) ≤ 1 x 10-9 mbar.l/s
---