RX3000 ist ein einstufiger Membrandruckregler für HP- und UHP-Anwendungen. Der erste gewindelose und federlose Druckregler seiner Art für höchste Reinheit.
Die wichtigsten Vorteile
Einzigartige gewindelose Konstruktion in allen Versionen für ein höheres Reinheitsniveau
Federloses Design für die Version mit gebundener Membrane
Unteratmosphärische Option verfügbar
Optimierte Versorgungsdruckwirkung und hervorragende Durchflussstabilität
Lebensdauer gemäß CGA E4
Vakuum bis 240 bar (3500 psi) Einlass
Zusammenbau, Prüfung und Verpackung im Reinraum: Klasse ISO 4
Individuelle Seriennummer für vollständige Rückverfolgbarkeit
Elektropolierte Oberflächenrauhigkeit gemäß SEMI F19 UHP Grade
316L VA
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