Produktionssystem Atomfab

Atomfab ist das schnellste ALD-System für die Remote-Plasmaproduktion auf dem Markt. LÖSUNGEN FÜR IHRE PRODUKTIONSANFORDERUNGEN Wettbewerbsfähige CoO Schnelle, einfache Wartung Ausgezeichnete Gleichmäßigkeit des Films Hohe Materialqualität Geringe Beschädigung des Substrats Schnellere Zykluszeiten, hoher Durchsatz Clusterfähige und automatisierte Waferhandhabung PERFORMANCE Die ALD-Technologie von Atomfab bietet präzise kontrollierte ultradünne Schichten für fortschrittliche Anwendungen im Nanometerbereich mit konformer Beschichtung von empfindlichen Substratstrukturen. PROZESSVORTEILE FÜR DIE PASSIVIERUNG VON LEISTUNGS- UND HOCHFREQUENZGERÄTEN Garantierte Prozesseinstellung durch unsere Ingenieure Lebenslanger Prozess-Support für zusätzliche/neue Prozesse Beschädigungsarme Plasmabearbeitung Hochwertige Abscheidung mit geringer Schichtkontamination Niedriges Partikelniveau Kurze Plasmabelichtungszeiten für hohen Durchsatz Plasma-Oberflächenvorbehandlungen VORTEILE DER PLASMA ALD FÜR GaN-, POWER- & RF-BEHÖRDE Mit Plasmavorbehandlung vor der Abscheidung zur Verbesserung der Oberflächenqualität Geringe Beschädigung, gleichmäßige Abscheidung Remote-Plasma-ALD mit kontrollierter Ionenenergie von nahezu Null bis 30 eV ALD-Passivierung, Gate-Dielektrikum durch Al2O3-Schichten. GLOBALE KUNDENBETREUUNG Oxford Instruments ist bestrebt, einen umfassenden, flexiblen und zuverlässigen globalen Kundensupport zu bieten. Wir bieten einen hervorragenden Qualitätsservice während der gesamten Lebensdauer Ihres Systems. Die Ferndiagnose-Software ermöglicht eine schnelle und einfache Fehlerdiagnose und -behebung Supportverträge sind je nach Budget und Situation erhältlich Globale Ersatzteillager an strategischen Standorten für eine schnelle Reaktion