Dreidimensionale Mikroelektrodenanordnung:
TiN-Elektroden, SiN-Isolator, Kontaktflächen und Spuren opak (TiN), mit interner Referenzelektrode, Elektrodengitter 8x8, 60 Elektroden, Elektrodenabstand 100 µm, Elektrodendurchmesser 12 µm, Elektrodenhöhe insgesamt 40 µm, Garantie: 6 Monate
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