Röntgendiffraktometer X'Pert³ MRD XL

für Forschungszwecke

Die lange und erfolgreiche Geschichte der Materialforschungsdiffraktometer (MRD) von Malvern Panalytical wird mit der Generation der X'Pert³ MRD XL fortgesetzt. Durch die verbesserte Leistung und Zuverlässigkeit der neuen Plattform wurden die Analysemöglichkeiten und die Leistung für Röntgenstreuungs-Untersuchungen in folgenden Bereichen verbessert: • Moderne Materialwissenschaft • Wissenschaftliche und industrielle Dünnschichttechnologie • Messtechnische Charakterisierung in der Halbleiter-Prozessentwicklung Das X'Pert³ MRD XL eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen mit komplettem Wafer-Mapping bis 200 mm. Leistungsmerkmale Zukunftssichere Systemflexibilität Die X'Pert³ MRD-Systeme bieten fortschrittliche und innovative Röntgenbeugungslösungen, die sowohl in der Forschung als auch in der Prozessentwicklung und -steuerung eingesetzt werden. Die verwendeten Technologien machen es möglich, alle Systeme vor Ort auf alle vorhandenen Optionen und neue Entwicklungen in der Hardware und Software aufzurüsten. X'Pert³ Extended MRD (XL) Das X'Pert³ Extended MRD (XL) ist eine Erweiterung der X'Pert³ MRD-Systeme mit erhöhter Vielseitigkeit. Eine zusätzliche PreFIX-Montagebühne ermöglicht es, einen Röntgenspiegel und einen hochauflösenden Monochromator hintereinander zu montieren. Hierdurch wird die Intensität des einfallenden Strahls erheblich erhöht. Vorteile sind die erhöhte Anwendungsvielfalt ohne Kompromisse bei der Datenqualität, hochauflösende Röntgendiffraktometrie mit hoher Intensität, kürzere Messzeiten bei Reciprocal Space Maps und Umbau von der Standardkonfiguration zur erweiterten Konfiguration in wenigen Minuten dank PreFIX-Konzept.