Röntgendiffraktometer X'Pert³ MRD

für ForschungszweckeLabor

Die lange und erfolgreiche Geschichte der Materialforschungsdiffraktometer (MRD) von Malvern Panalytical wird mit einer neuen Generation fortgesetzt: X'Pert³ MRD und X'Pert³ MRD XL. Durch die verbesserte Leistung und Zuverlässigkeit der neuen Plattform wurden die Analysemöglichkeiten und die Leistung für Röntgenstreuungs-Untersuchungen in folgenden Bereichen verbessert: • Moderne Materialwissenschaft • Wissenschaftliche und industrielle Dünnschichttechnologie • Messtechnische Charakterisierung in der Halbleiter-Prozessentwicklung Beide Systeme unterstützen dieselbe große Auswahl von Anwendungen und komplette Wafer-Mappings bis 100 mm (X'Pert³ MRD) bzw. 200 mm (X'Pert³ MRD XL). Leistungsmerkmale Zukunftssichere Systemflexibilität Die X'Pert³ MRD-Systeme bieten fortschrittliche und innovative Röntgendiffraktionslösungen, die sowohl in der Forschung als auch in der Prozessentwicklung und -steuerung eingesetzt werden. Die verwendeten Technologien machen es möglich, alle Systeme vor Ort auf alle vorhandenen Optionen und neue Entwicklungen in der Hardware und Software aufzurüsten. Die F&E-Standardversion für Dünnschichtproben, Wafer (komplettes Mapping bis 100 mm) und Feststoffe. Die Analyseleistung bei hoher Auflösung wird durch die hervorragende Genauigkeit eines neuen hochauflösenden Goniometers mit Heidenhain-Drehgebern verbessert. Das X'Pert³ MRD XL erfüllt alle Anforderungen für hochauflösende Röntgendiffraktometrie-Analysen in den Branchen Halbleiter, Dünnschichten und moderne Materialforschung. Vollständiges Mapping von Wafern bis 200 mm. Die X'Pert³-Version bietet die längste Lebensdauer der Komponenten für den einfallenden Strahl (CRISP)