Laborthermostat Semistat

Prozessbodenstehendanalog

Thermoelektrische Prozessthermostate von -20 bis 90 °C für die Halbleiterindustrie Schnelle und päzise Temperaturregelung für anspruchsvolle Prozesse. Basierend auf den bewährten Prinzipien der Wärmeübertragung von Peltier-Elementen, bieten die thermoelektrischen Systeme zur Temperaturregelung LAUDA Semistat reproduzierbare Temperaturregelung für Plasmaätzanwendungen. Durch dynamische Temperaturregelung des elektrostatischen Wafer-Chucks (ESC) können die Geräte mit allen Arten von Ätzprozessen eingesetzt werden. Energieeffizient, platzsparend und mit stabiler Temperaturregelung sind sie dank dieser ausgeklügelten Systeme ideal bei der Herstellung immer kleiner werdender Bauteile. Übersicht Vorteile und Mehrwert Kompressor- und kältemittelfreies System mit niedrigem Energieverbrauch Branchenweit kleinste Standfläche, ideal geeignet für Unterflurinstallation Sehr geringes Temperierflüssigkeitsvolumen Arbeitsbereich Durch den Einsatz von Semistat Temperiersystemen ist eine Verringerung des Energieverbrauchs um bis zu 90 % gegenüber kompressorbasierten Systmen möglich. Ein sehr geringer Platzbedarf mit der Möglichkeit der Unterflurinstallation am Point-of-Use führt zur Minimierung des Verbrauchs von Reinraum. Durch schnelle und präzise Temperaturregelung der Prozesstemperaturprofile auf ±0,1 K wird eine verbesserter Wafer-to-Wafer-Homogenität erreicht.