fluid:Gas N₂,Luft,H₂,He,Ar,O₂,CO₂ etc.
■Max.Durchflussmenge:Gas 1 Leitung von 5SCCM bis 10SLM / insgesamt 100SLM
■Genauigkeit:±1%F.S.
Hochleistungs-Massendurchflussregler eingesetzt.
Einstellung des Mischgasdurchflusses und des Mischgasverhältnisses umschaltbar.
Programmbetrieb mit voreingestellten Bedingungen im Schrittbetrieb.
VNC-Server-Funktion für die Fernsteuerung.
Aufgezeichneter Betriebsstatus in der Datenprotokollierung kann über den USB-Anschluss des Geräts auf der Rückseite extrahiert werden.
Notabschaltung, obere und untere Grenzwerteinstellung, summierter Durchfluss, Berechtigungseinstellungen usw.
---