FIB-SEM-Mikroskop JIB-4700F

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Fortschritte in den Materialwissenschaften und in den Life Sciences verlangen immer höhere Anforderungen an die bildgebenden, analytischen und präparativen Möglichkeiten moderner Focused-Ion-Beam-Systeme (FIB). Das Mehrstrahlsystem JEOL JIB-4700F ist eine ideale Plattform für sämtliche Fragestellungen von der morphologischen, chemischen bis hin zur kristallographischen Analyse verschiedenster Proben. Für höchsten Probendurchsatz sorgen neben der großen, serienmäßigen Probeschleuse vor allem die leistungsfähigen Elektronen- und Ionen-Emitter. Mit einem hohen Elektronenstrom von über 300nA können sehr schnelle Verteilungsbilder der Elementzusammensetzung (EDX) und Kristallrichtungen (EBSD) aufgenommen werden. Selbst bei niedrigen Anregungsspannungen wird durch den hohen Strom eine schnelle Analytik und durch das GentleBeam-System und die In-Lens-Detektoren eine hohe laterale Auflösung gewährleistet. Das Mehrstrahlsystem JIB-4700F verfügt serienmäßig über Software für die korrelative Mikroskopie und für die dreidimensionale Rekonstruktion von Proben durch sukzessives Schneiden und Aufnehmen von Abbildungen. Merkmale Höchstauflösende Abbildung Eine Auflösung von 1,6 nm bei einer niedrigen Beschleunigungsspannung von 1 kV wird durch eine hybride, feldfreie Objektivlinse, den GentleBeam-Modus (Gegenfeld) und In-lens-Detektion erzielt. Kurze Analysezeit Der InLens-Schottky-Emitter mit hoher Lebensdauer erzeugt einen intensiven und stabilen Probenstrom für schnellste Analytik. Durch ein patentiertes Linsensystem wird der Strahl selbst bei hohen Strömen und niedrigen Anregungsspannungen auf extrem kleine Durchmesser gebündelt.