Das JPS-9030 ist mit einer neu entwickelten Bedienungssoftware ausgestattet, wodurch die Funktionsfähigkeit weiter verbessert wurde. Ebenso überzeugt das neue JPS-9030 durch sein weiterentwickeltes, modernes und ansprechendes Design.
Merkmale
Anwendungsoptimierte Tiefenprofilierung
Die neu entwickelte Kaufman-Ionenquelle ermöglicht Ätzraten von 1 nm/min bis 100 nm/min (SiO2) und lässt sich anwendungsspezifisch sowohl für hohe Abtragsraten als auch für hoch-präzisen Abtrag anpassen. Da die Kaufman-Ionenquelle auf der Probenschleuse angebracht ist, wird die Kontamination der Messkammer vermieden.
Neu entwickelte Software für deutlich vereinfachte Bedienung
Die neue Software SpecSurf Ver. 2.0 bietet aufgrund ihrer neuen Grafik-Oberfläche mit Multifunktionsleiste eine noch benutzerfreundlichere Umgebung, in der alle Operationen einfach, schnell und effizient durchgeführt werden können. Mit der automatischen qualitativen Analysefunktion ist es möglich, quantitative und qualitative Bindungszustands-Analysen sequenziell an mehreren Messpunkten durchzuführen.
Höchste Oberflächenempfindlichkeit
Das JPS-9030 unterstützt Techniken wie winkelaufgelöste XPS (ARXPS) und Total Reflection XPS (TRXPS). Zugleich ermöglicht das Gerät hochempfindliche Analysen von Oberflächen in einer Tiefe von nur 1 nm (Standard-Messmethode 6 nm oder mehr).
Spezifikationen
Intensität
(Mg Kα, 300W equivalent)
≥1.000.000 cps (bei Ag 3d5/2 FWHM von 1,0 eV)
Röntgen-Quelle
Mg/Al-Doppelanode
Linsen-System
Zylindrische elektrostatische Linse
Energie-Analysator
Elektrostatischer Halbkugelanalysator
Analysator-Betriebsmodi
CAE (Constant Analyzer Energy) und CRR (Constant Retard Ratio)