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Spektroskopisches Ellipsometer Smart SE
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Eigenschaften
- Typ
- spektroskopisch
Beschreibung
Das SmartSE von HORIBA Scientific ist ein vielseitiges spektroskopisches Ellipsometer für schnelle und genaue Dünnschichtmessungen. Neben der Bestimmung der optischen Konstanten (n, k) und Eigenschaften von Dünnschichtstrukturen (z. B. Rauhigkeit, Stufenindexschichten und anisotrope Schichten) dient das System zur Charakterisierung dünner Schichten mit einer Dicke von wenigen Angström bis zu 20 µm.
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Spectroscopic Ellipsometry
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