Kompensiert. 10 SLPM bis 300 SLPM. Digitaler Ausgang
Die Sensoren der Zephyr™ HAF-Serie bieten eine digitale Schnittstelle zum Ermitteln.von Luftströmen über einem festgelegten Flussmessbereich und kompensierten Temperaturbereich. Die thermisch isolierten Heizungs- und Temperatursensorelemente ermöglichen eine schnelle Reaktion dieser Sensoren auf Luft- oder Gasströme.
Zephyr Sensoren sind auf die Messung der Massenströme von Luft und anderer nicht korrodierender Gase ausgelegt. Die Standarddurchflussbereiche sind 10.SLPM, 15.SLPM, 20.SLPM, 50.SLPM, 100.SLPM, 200.SLPM oder 300.SLPM, benutzerdefinierte Durchflussbereiche sind ebenfalls verfügbar. Diese Sensoren sind vollständig kalibriert und temperaturkompensiert und mit einem integrierten anwendungsspezifischen Schaltkreis (ASIC) ausgestattet.
Die HAF-Serie >10.SLPM wird über den kalibrierten Temperaturbereich von 0.°C bis 50.°C [32.°F bis 122.°F] kompensiert. Die moderne ASIC-basierte Kompensation bietet digitale (I2C) Ausgänge mit einer Reaktionszeit von 1.ms.
Diese Sensoren arbeiten nach dem Prinzip der Wärmeübertragung zum Messen von Luftmassen. Sie bestehen aus einem mikroelektronischen Mikrobrücken- und mikroelektromechanischen System mit temperatursensiblen Widerständen, die in einer Dünnschicht aus Siliziumnitrid gelagert sind. Die Messoberfläche befindet sich in einem präzise bemessenen Luftstromkanal, der eine wiederholbare Luftstromansprache ermöglicht.