Temperatursensor AWM40000

DurchflussGasmedizinisch

Kompensiert oder nicht kompensiert. ±25,0 SCCM, 1,0 SLPM, 6,0 SLPM. Analogausgang Bedienung Der Mikrobrücken-Luftmassenmesser arbeitet nach dem Prinzip der Wärmeübertragung. Die Luftmasse wird über die Oberfläche der Messelemente geleitet. Die Ausgangsspannung variiert proportional zur Luftmasse oder zum Strom anderer Gase durch die Einlass- und Auslass-Ports des Pakets. Das speziell entworfene Gehäuse leitet und steuert die Luftströmung präzise über das Mikrostruktur-Sensorelement. Die mechanische Konstruktion des Pakets ermöglicht die einfache Montage an den Leiterplatten. Der Mikrobrücken-Luftmassenmesser verfügt über einen einzigartigen Siliziumchip mit der hochentwickelten Mikrostrukturtechnologie. Er verfügt über eine thermisch isolierte Dünnschicht-Brückenstruktur, die aus einem Heizer und Temperaturmesselementen besteht. Die Brückenstruktur bietet eine sensible und schnelle Ansprache auf Luft- und andere Gasströme über den Chip. Duale Messelemente, die sich an beiden Seiten eines zentralen Heizelements befinden, zeigen die Strömungsrichtung sowie die Strömungsrate an. Per Laser abgeglichene Dick- und Dünnschicht-Widerstände ermöglichen eine konsistente Austauschbarkeit von einem Gerät zum nächsten. Das Mikrobrücken-Luftmassenmessgerät verfügt über temperatursensible Widerstände, die in einer Dünnschicht aus Siliziumnitrid gelagert sind. Sie werden in Form von zwei Brücken über einem geätzten Hohlraum im Silizium gelagert.