Mit dem neuesten Hochgeschwindigkeits-4-Segment-Rückstreuelektronen-Detektor von Hitachi kann ein dreidimensionales Modell erstellt werden, ohne dass die Probe gekippt oder manuell aufeinanderfolgende Bilder aufgenommen werden müssen.
Direktes Editieren auf dem flexiblen Layout-Display.
Unterstützt verschiedene Messungen wie Höhe, Fläche und Volumen sowie die ISO-konforme Oberflächenrauhigkeit.
Automatisierter und nachvollziehbarer Analyse-Workflow einschließlich Berichterstellung.
Merkmale
Hitachi map 3D Software Übersicht
Hitachi map 3D erzeugt dreidimensionale Bilder ohne Kippen der Probe/des Tisches oder Bildverschiebung.
Hitachi map 3D erfasst alle vier Richtungsbilder gleichzeitig mit einem segmentierten Hochgeschwindigkeits-Backscattered-Electron-Detektor (BSED).
Flexible Profilanalyse
Erfasst automatisch Daten von der Probenoberfläche oder dem Querschnittsprofil für Oberflächenrauheit und Strukturhöhe oder führt verschiedene Messungen zwischen den beiden Punkten durch.
Anzeige des Querschnittsprofils von beliebigen Punkten innerhalb der 3D-Karte
Der Messort kann frei aus vertikalen, horizontalen und diagonalen Punkten des 3D-Bildes gewählt werden.
Sobald die Messposition geändert wird, reagieren die Messergebnisse in Echtzeit.
Höhen- und Winkelmessungen sind auf dem benutzerdefinierten Linienprofil möglich.
X-, Y- und Z-Analyse zwischen 2 Punkten auf der Oberfläche oder dem Querschnitt.
Abstand, Z-Höhe, Neigung oder Winkel können zwischen 2 Punkten auf dem 3D-Kartenbild gemessen werden.
Hochauflösende 3D-Bildanzeige
Für die Oberflächencharakterisierung sind zahlreiche 3D-Darstellungsmodi wählbar. Animationen können auf das 3D-Bild angewendet und als Videodatei gespeichert werden.
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