SEM-Mikroskop SU8600

FE-SEMLabor3D

Das SU8600 läutet eine neue Ära der ultrahochauflösenden Kaltfeld-Emissions-Rasterelektronenmikroskope in der langjährigen Hitachi EM-Produktpalette ein. Diese revolutionäre CFE-SEM-Plattform bietet vielseitige Bildgebung, Automatisierung, erhöhte Systemstabilität, effiziente Arbeitsabläufe für Anwender aller Erfahrungsstufen und vieles mehr. Ultrahochauflösend Hitachis hochbrillante Kaltfeld-Emissionsquelle liefert selbst bei sehr niedrigen Spannungen Bilder mit ultrahoher Auflösung. Ein intelligentes Detektionssystem für die BSE-Bildgebung bei niedriger Spannung Querschnittsbild eines 3D-NAND; Die Oxidschicht und die Nitridschicht des Kondensators sind dank der BSE-Detektionsfähigkeit im Bild leicht zu erkennen. Schnelle BSE-Darstellung: Neuer Out-Column Crystal Type BSED (OCD) Durch den Einsatz der neuen Out-Column Crystal Type BSED (OCD)* betrug die Bildaufnahmezeit weniger als EINE SEKUNDE, wobei die untere Verbindungsschicht und die Fin-FET-Struktur des SRAM deutlich sichtbar sind. Verbesserte Benutzerfreundlichkeit durch fortschrittliche Automatisierung Mit der Software-Option EM Flow Creator" können Benutzer wiederholbare SEM-Betriebsabläufe konfigurieren. Verschiedene REM-Funktionen können im EM Flow Creator-Fenster per Drag-and-Drop zusammengestellt und dann als Rezept zur späteren Verwendung gespeichert werden. Sobald ein Rezept konfiguriert ist, kann die automatische Datenerfassung unter den festgelegten Bedingungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchgeführt werden. Flexible Schnittstelle Die Doppelmonitor-Konfiguration unterstützt einen flexiblen und hocheffizienten Arbeitsbereich. Sie können 6 Signale gleichzeitig anzeigen und speichern, um mehr Informationen in kürzerer Zeit zu erfassen.