Das SU8700 läutet eine neue Ära der ultrahochauflösenden Schottky-Feldemissions-Rasterelektronenmikroskope in der langjährigen Hitachi EM-Produktpalette ein. Diese revolutionäre FE-SEM-Plattform bietet vielseitige Bildgebung, hohen Sondenstrom, Automatisierung, effiziente Arbeitsabläufe für Anwender aller Erfahrungsstufen und vieles mehr.
Merkmale
Ultrahochauflösende und analytische Fähigkeiten
Der Schottky-Emitter von Hitachi bietet ultrahochauflösende Bilder und ultraschnelle Mikroanalyse mit hohem Sondenstrom.
Seine 0,1 kV-Abbildungsfähigkeit ohne Vorspannung erweitert den Anwendungsbereich für strahlungsempfindliche Proben. 0,1 kV und eine Vielzahl von Detektoren und Optionen stehen zur Verfügung, um den Anforderungen jedes Benutzers gerecht zu werden.
Verbesserte Benutzerfreundlichkeit durch fortschrittliche Automatisierung
Mit der Softwareoption EM Flow Creator" können Benutzer wiederholbare REM-Betriebsabläufe konfigurieren.
Verschiedene REM-Funktionen können im EM Flow Creator-Fenster per Drag-and-Drop zusammengestellt und dann als Rezept zur späteren Verwendung gespeichert werden.
Sobald ein Rezept konfiguriert ist, kann die automatische Datenerfassung unter den festgelegten Bedingungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchgeführt werden.
Neue Anzeige- und Schnittstellenfunktionen
Die Doppelmonitor-Konfiguration unterstützt einen flexiblen und hocheffizienten Arbeitsbereich.
Anzeige und Speicherung von 6 Signalen gleichzeitig, um mehr Informationen in kürzerer Zeit zu erfassen.
Erfassen Sie hochauflösende Informationen mit bis zu 40.960 x 30.720 Pixeln.
Das Bild oben links wurde mit einem FOV von >120 μm aufgenommen. Das gelbe rechteckige Feld im Bild ist auch im rechten Bild mit einer höheren digitalen Vergrößerung zu sehen.
Selbst nach einer mehr als 20-fachen digitalen Vergrößerung des Originalbildes,
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