FIB-Mikroskop NX9000

FIB-SEMbiologischLabor

In diesem einzigartigen System stehen die Ga-FIB- und FE-SEM-Säulen im rechten Winkel zueinander. Diese Konfiguration ist ideal für Anwendungen, bei denen große Volumina (biologisches Gewebe, Materialien mit großen Kornstrukturen, Halbleiterbauteile usw.) in 3D ohne Verzerrung und mit höchster Auflösung analysiert werden sollen, auch bei sehr breiten Sichtfeldern. die 3D-EBSD-Analyse kann auch mit einer vollständig stationären Probe durchgeführt werden, d. h. ohne Probenbewegung zwischen FIB-Schneiden und EBSD-Schichtanalyse.