CFE-SEM-Mikroskop SU8600

für ForschungszweckeTischmit kalter Feldemission

Das SU8600 läutet eine neue Ära der ultrahochauflösenden Kaltfeld-Emissions-Rasterelektronenmikroskope in der langjährigen Hitachi EM-Produktpalette ein. Diese revolutionäre CFE-SEM-Plattform bietet vielseitige Bildgebung, Automatisierung, erhöhte Systemstabilität, effiziente Arbeitsabläufe für Anwender aller Erfahrungsstufen und vieles mehr. Merkmale Ultrahochauflösend Die hochbrillante Hitachi-Kaltfeldemissionsquelle liefert selbst bei ultra-niedrigen Spannungen Bilder mit ultrahoher Auflösung. Verbesserte Benutzerfreundlichkeit durch fortschrittliche Automatisierung Mit der Software-Option EM Flow Creator" können Benutzer wiederholbare SEM-Betriebsabläufe konfigurieren. Verschiedene REM-Funktionen können im EM Flow Creator-Fenster per Drag-and-Drop zusammengestellt und dann als Rezept zur späteren Verwendung gespeichert werden. Sobald ein Rezept konfiguriert ist, kann die automatische Datenerfassung unter den festgelegten Bedingungen mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit durchgeführt werden. Spezifikationen Elektronenkanone - Kaltkathoden-Feldemissionskanone mit Anodenheizsystem Beschleunigungsspannung - 0,5 bis 30 kV Landeschlussspannung(*1) - 0,01 bis 20 kV Standard-Detektoren Oberer Detektor (UD) mit ExB-Filter: SE/BSE-Signalmischfunktion Unterer Detektor (LD) Option Detektoren - Oberer Detektor (TD) Mittelspalten-Detektor (IMD) Außensäulen-Kristalltyp BSED (OCD) Halbleiter-BSED (PD-BSED) Kathodolumineszenz-Detektor (CLD) STEM-Detektor Probentisch Tischsteuerung - 5-Achsen-Motorantrieb Beweglicher Bereich - x - 0 bis 110 mm y - 0 bis 110 mm z - 1,5 bis 40 mm t - -5 bis 70° r - 360° Probenkammer - Probengröße - Max. φ150 mm(*3)