SEM-Mikroskop SU9000 II

TEMSTEMkryoelektronisch

Das SU9000 II ist eine Kombination aus oberflächenabbildendem SEM und strukturauflösendem Rastertransmissionsmikroskop (STEM), die für eine extreme Auflösung optimiert ist. Ermöglicht wird dies durch die einzigartige Elektronenoptik des SU9000 II, die einen Kaltfeldstrahler mit nahezu monochromatischer Emission mit einer "Inlens"-Objektivlinse kombiniert. Die Probe wird auf einem hochstabilen "Side-Entry"-Halter praktisch innerhalb der zweistufigen Objektivlinse platziert. Ähnlich wie beim SU8600 ist für die REM-Bildgebung ein zweistufiges, energiegefiltertes Detektorsystem verfügbar, das mit einem mobilen Rückstreudetektor erweitert werden kann. Im Transmissionsmodus kann das TE-Signal gleichzeitig mit der REM-Bildgebung selektiv nach Streuwinkeln (Hellfeld, variables Dunkelfeld) mit einer Gitterauflösung von weniger als 3 Å detektiert werden. Ein großer, fensterloser EDX-Detektor mit einem Raumwinkel von bis zu 0,7 sr kann für die hochauflösende Elementanalyse sowohl im REM- als auch im STEM-Modus nahe an der Probe angebracht werden. Produktmerkmale: - SEM-STEM-Kombination mit ExB-gefiltertem SEM-Signal und streuwinkelabhängiger Transmissionssignaldetektion - Kaltfeldemitter kombiniert mit Inlens-Elektronenoptik garantieren 0,4nm SE-Auflösung und 0,34nm TE-Auflösung bei 30k Beschleunigungsspannung - Hervorragende Leuchtelementanalyse durch die optimale Unterstützung eines fensterlosen EDX-Detektors durch die magnetische Immersionslinse. Oder die Verwendung eines Energieverlustspektrometers