Die Produktionsanlage Tetra 320R mit ihren 320 Litern Kammervolumen und PC-Steuerung kommt in der Serienfertigung(Reinigen, Ätzen und Aktivieren) zum Einsatz:
Schaltschrank: B 870 mm, H (mit Füßen) 1860 mm, T 1400 mm
Kammer: ∅ 640 mm, T 1000 mm
Kammervolumen: ca. 320 Liter
Gaszufuhr: 2 Gaskanäle über MFCs
Generator: 1 Stück (80 kHz/ 300 Watt)
Steuerung: PC-Steuerung (Windows)
Teile Aufnahme: nach Kundenwunsch