Die Nano Plasmasysteme können in verschiedenen Varianten wie in einem Baukastensystem kombiniert werden. Im Folgenden erhalten Sie einen Überblick über die gängigsten Optionen in Verbindung mit den Nano Plasmasystemen: Die Nano Plasmasysteme kommen vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz:
Analytik, Archäologie, Automotive, Forschungs- und Entwicklungsabteilungen, Halbleitertechnik, Kleinserienfertigung, Kunststofftechnik, Medizintechnik, Mikrosystemtechnik, Sensorik, Sterilisieren, Textiltechnik
Grundausstattung
Die Gehäusegröße variieren je nach Komponenten / Optionen
Kammervolumen: je nach Version 18 - 36 Liter
Spannungsversorgung: 230 V für Tischgerät, 400 V / 3 Phasen für Standgerät
Gaszufuhr
Nadelventile
Mass-Flow-Controller (MFCs)
Vakuumkammern
Edelstahl rund mit Deckel (ca. ∅ 267 mm, L 420 mm oder L 600 mm) oder
Edelstahl rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. B 240 mm x H 240 mm x T 420 mm oder 600 mm)
Aluminium rechteckig, Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm x 240 mm, L 420 mm oder L 600 mm)
Quarzglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)
Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel oder Tür mit Scharnier (ca. ∅ 240 mm, L 400 mm oder L 600 mm)