Die Plasmaanlage Yocto III kommt vorwiegend in folgenden Bereichen zum Einsatz: Aktivieren, Reinigen
Grundausstattung
Spannungsversorgung: 230 V
Gaszufuhr
Prozessgas über Filter
Durchfluss über Ventil (nicht regelbar)
Belüftung über Filter
Vakuumkammern
Borosilikatglas (UHP) rund mit Deckel(ca. ∅ 50 mm, L 150 mm)
Elektroden
Ein Elektrodenpaar außerhalb der Vakuumkammer
Steuerungen
Generator zur Plasmaerzeugung
2-Stufenschalter
Startknopf
Netzschalter
Generatoren
Frequenzen: 100 kHz: Leistung 0 - 30 W
Vakuumpumpe
Im Gehäuse eingebaut
Ölfrei
Saugleistung: 0,75 m3/h