Optisches Inspektionssystem

medizinischkompaktHochgeschwindigkeit

Die Halbleiter-Wafer-Inspektionssysteme, die nicht einmal eine winzige Verunreinigung oder einen Defekt tolerieren können, haben auch verschiedene Maßnahmen für optische Systeme. Da unsere Linearmotoren nur bestimmte Stellen beleuchten und die Shutter-Struktur als Blendenfilter dient, um Umgebungslicht zu vermeiden, werden unsere Linearmotoren für diese Anwendung eingesetzt. Da unser Linearmotor mit seiner kompakten Bauweise es ermöglicht, mehrere Achsen auf kleinem Raum zu installieren, ist es möglich, eine Vielzahl von Größen und Figuren zu beleuchten. Und da eine Hochgeschwindigkeitsbewegung durch Direktantrieb möglich ist, eignet er sich auch für Halbleiterfertigungslinien, die einen hohen Durchsatz erfordern.