Whole Wafer Scan--Hochdurchsatz-Plattform
Whole Wafer Image Capturing
Bildauflösung: 20.000 x 20.000 Pixel (~1,6GB), 10um/Pixel
Bildformat: TIFF
Ganzes Wafer-Bild
Analysieren
Automatische Ausrichtung und automatisches Einkreisen
Auflösung: 2, 5, 10, 40 μm
Wellenlänge der Laseranregung: 532 nm und 635 nm
Laserleistung
532 nm: 13+/-10% mW
635 nm: 13+/-10% mW
Kompatible Fluorophore: Cy3 & Cy5
Wafergröße: 4"~12" Si/Glas-Wafer
Scanbereich: ganzer Wafer
Laderkapazität: 1 Wafer
Art der Detektion: Dynamischer Fokus mit konfokaler Echtzeit und 2 PMTs
Scan-Geschwindigkeit: 21 Minuten bei 10 μm (8"-Wafer)
Empfindlichkeit: <0,2 Fluor/μm²
Dynamischer Bereich: 10⁴
Digitale Auflösung: 16 Bit
Dateiformat: TIFF
Betriebssoftware (BioScan control & BioImage Analyzer)
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