Angstrom Advanced setzt Maßstäbe in der Ellipsometrie und bietet die beste Ellipsometrietechnologie zu erschwinglichen Preisen an. Angstrom Advanced bietet eine vollständige Palette von Ellipsometern für Dünnschichtdickenmessungen, optische Charakterisierung für Brechungsindex und Extinktionskoeffizientenanalyse (n & k). Ellipsometer von Angstrom Advanced Inc können für viele verschiedene Anwendungen eingesetzt werden und werden in einigen der renommiertesten Labors wie MIT, NASA, UC Berkeley, Yale University, Duke University, NIST und vielen anderen verwendet.
Das PHE101 ist das neueste Ellipsometer für diskrete Wellenlängen mit vielen neuen Funktionen, wie z.B. einer Materialbibliothek, einem großen variablen Winkel, einem zweiten Laser für die Ausrichtung und einer leistungsstarken Software, die das PHE101 Ellipsometer mit hoher Genauigkeit und Wiederholbarkeit ausstattet.
Ausgezeichnete Genauigkeit und Wiederholbarkeit
Schneller Betrieb des rotierenden Analysators.
Leistungsstarke Software mit Materialbibliothek
Größter variabler Winkel 10-90°
Autofokus kompensiert Probentopografie und Wafer-Fehlstellung
Hohe Stabilität und Reproduzierbarkeit des gemessenen Winkels besser als 0,01°
Messgeschwindigkeit von weniger als 1 Sekunde
Das Ellipsometer PHE101 ist ein ideales Ellipsometer für diskrete Wellenlängen, das für die Messung des Brechungsindex, des Extinktionskoeffizienten (n & k) und der Dicke von ein- und mehrschichtigen Filmen entwickelt wurde.
Das Ellipsometer PHE101 liefert dank seines präzisen optischen Analysators/Detektors und seines stabilen mechanischen Aufbaus schnelle und genaue Messwerte. Das Ellipsometer PHE101 wird mit einem integrierten Windows-Softwarepaket geliefert, das die Geschwindigkeit und den Bedienungskomfort des Geräts weiter erhöht.
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